半導(dǎo)體晶圓片可以是透明晶圓片，也可以是反光的晶圓片，普通傳感器要同時(shí)檢測出這兩種晶圓片具有一定的挑戰(zhàn)性。   因此，使用能夠可靠地檢測這兩種晶圓片的技術(shù)非常重要。 對于真空室中檢測晶圓片， 傳感器的安裝也是一項(xiàng)挑戰(zhàn)。  

幸運(yùn)的是，邦納公司提供幾種解決方案，可用于可靠地檢測真空室中的透明的和反光的晶圓片。本文介紹了可用于滿足此應(yīng)用要求的3種技術(shù)。 

1. 可以穿透玻璃實(shí)現(xiàn)雙模檢測的激光測距傳感器

用于檢測晶圓片的種傳感器是一種能夠穿透玻璃實(shí)現(xiàn)雙模檢測的激光測距傳感器。  具有雙模功能的傳感器（如邦納Q4X）不僅可檢測距離的變化，還可以從穩(wěn)定的背景中檢測光線強(qiáng)度的變化。   這使得Q4X可以高度準(zhǔn)確地檢測具有挑戰(zhàn)性的目標(biāo)，如透明和反光的晶圓片。  

雙模激光測距傳感器不僅能檢測被測物何時(shí)在一定距離內(nèi)存在，而且還能檢測目標(biāo)何時(shí)將一定量的光線返回給接收器。 為使該傳感器正常工作，必須示教一個(gè)穩(wěn)定的參考表面，并記錄參考表面的距離和光強(qiáng)度用作基準(zhǔn)。

透明或反光晶圓片進(jìn)入光束檢測范圍而改變基于背景條件的感應(yīng)的距離和光線強(qiáng)度。  邦納的Q4X傳感器還能夠透過玻璃窗檢測而不受干擾。 

2. 透過窗玻璃的光電傳感器

另一個(gè)檢測具有挑戰(zhàn)性的晶圓片的傳感器是一種采用同軸光學(xué)設(shè)計(jì)的反射板式光電傳感器。  具有透明物體檢測功能的QS18 COD可沿同一個(gè)軸發(fā)射和接收光線。這將優(yōu)化透明晶圓片的檢測，顯著降低反射光引起的誤檢風(fēng)險(xiǎn)。

此外，由于發(fā)射和接收的光線都會在一道窄光束上傳輸，這些傳感器可以穿透一個(gè)小光縫，使它們可以透過玻璃窗在真空室應(yīng)用。帶有偏振濾光片的光電傳感器會發(fā)射和檢測特定偏振的光波，而忽略所有其他光波。這可以進(jìn)一步降低反射光引起的誤檢風(fēng)險(xiǎn)。

詳細(xì)了解用于檢測透明物體的偏振同軸光學(xué)技術(shù)。 
3. 用于真空室的光纖

后，用于真空室的光纖解決方案也可用于檢測透明或反光的晶圓片。  

使用光纖解決方案，光纖放大器安裝在真空室的外面。  適用于真空中的玻璃光纖和特殊連接頭安裝在真空腔中可將光傳導(dǎo)到真空腔中。

安裝光纖，使其對準(zhǔn)適用于真空的玻璃反射板，用于檢測在光纖和反射板之間經(jīng)過的玻璃和反光晶圓片。

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